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Inpria desenvolve resistência de óxido metálico em parceira com a SK hynix para reduzir a complexidade de padronização para DRAM de próxima geração

TÓQUIO, August 02, 2022--(BUSINESS WIRE)--A JSR Corporation anunciou hoje a aceleração do seu desenvolvimento em conjunto com a SK hynix Inc. para aplicar Inpria, uma resistência de óxido metálico (Metal Oxide Resist, MOR) de ultravioleta extrema (Extreme Ultraviolet, EUV) da empresa JSR para fabricação de chips DRAM avançados. A plataforma fotorresistente de óxido metálico amplamente patenteada da Inpria para EUV permite que clientes padronizem com eficácia arquiteturas de dispositivos de nós avançados.

As soluções de materiais Inpria entregam o desempenho necessário para reduzir significativamente o custo de padronização EUV e são compatíveis com processos comprovados e configurações de equipamentos. A MOR da Inpria pode ser aplicada com um processo padrão de revestimento rotacional.

"A fabricação com EUV é complexa e exige materiais de ponta", afirmou BK Lee, chefe de processo de pesquisa e desenvolvimento da SK hynix. "As resistências de óxido de estanho prometem entregar desempenho e um menor custo de fabricação à próxima geração de DRAM de ponta".

"A tecnologia da JSR sempre foi baseada na inovação de materiais", afirmou Tadahiro Suhara, diretor administrativo da JSR. "Estamos comprometidos em acelerar o roteiro tecnológico da SK hynix permitindo a impressão eficiente dos menores recursos. A ciência é pioneira, mas a economia também".

A EUV já é utilizada na produção comercial nos processos de litografia mais avançados usados na fabricação de semicondutores e, à medida que o setor se move para dimensões críticas menores na fabricação de chips, espera-se que seu uso aumente significativamente.

A Inpria é líder em resistências EUV de óxido metálico e alcançou a maior resolução do mundo usando sistemas de exposição EUV. A JSR adquiriu a Inpria em 2021 e, com o aumento da adoção da EUV, está investindo na expansão das capacidades de produção e serviços de suporte ao cliente para fabricação em grandes volumes.

Sobre a JSR Corporation

A JSR Corporation é uma empresa de tecnologia de precisão que habilita avanços científicos e possibilita suas aplicações práticas. Sediada em Tóquio, Japão, a JSR enfrenta os desafios tecnológicos mais desafiadores como uma fornecedora global para clientes em indústrias de ponta. Nossos produtos e serviços geram avanços nos semicondutores que alimentam nosso mundo, aceleram o desenvolvimento de novas terapias para doenças que ameaçam vidas e muito mais. Para saber mais sobre como a JSR está enriquecendo sociedades pelo mundo e melhorando a qualidade de vida, acesse www.jsr.co.jp.

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Ver a versão original em businesswire.com: https://www.businesswire.com/news/home/20220802005753/pt/

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Missy Bindseil
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